APIX高纯器分析仪

型号：APIX

主要参数：

测量方式：

APIX δQ: 1x 三重四级杆质谱分析器

APIX Quattro: 4x 三重四级杆质谱分析器

质量范围：1-300 AMU

离子源类型：大气压离子化

离子源背景：<1 ppt

放大器和动态测量范围：100 MHz脉冲计数型

检测器：脉冲计数通道电子倍增器

检测噪声：其他

检测下限：< 10 ppt (根据组份变化)

分析时间(典型)：< 1s每个组份

流路切换时间(典型)：15分钟至 < 1 ppb

适合的大宗气体：H2 , N2 , Ar, He (O2仅限于 δQ 型)

串口连接类型：RS232, RS422, RS485

检测的污染物：H02 , He, CO, CO2 , O2 , CH4 , Kr 和 Xe (其他污染物也可检测)

外形尺寸：

APIX δQ: 1.9 m (H) x 0.7 m (W) x 0.65 m (D)

APIX Quattro: 1.9 m (H) x 2.1 m (W) x 0.65 m (D)

可检样品：

高纯金属材料(如铜、铝、钛等)

半导体材料(如硅、锗、氮化硅等)

电子材料(如锂电池、太阳能电池、LED等)

光学材料(如玻璃、晶体等)

医疗器械(如假肢、人造关节等)

生物材料(如DNA、RNA、蛋白质等)

其他高纯度材料

可检项目：

金属元素：包括铁、铜、铝、镁等，这些元素可能来自于管道、阀门和其他设备的腐蚀、磨损和剥落等。

非金属元素：包括氧、氮、氢、碳等，这些元素可能来自于气体生产过程中的气体净化系统。

卤素元素：包括氟、氯、溴、碘等，这些元素可能来自于气体净化系统中的化学试剂或气体生产过程中的卤化剂。

其他杂质元素：包括硫、磷、硅、钠、钙等元素，这些元素可能来自于气体生产过程中的材料和化学试剂。